橢偏儀通過(guò)測量光在介質(zhì)表面反射前后偏振態(tài)變化，獲得材料的光學(xué)常數和結構信息，具有測量精度高、非接觸、無(wú)破壞且不需要真空等優(yōu)點(diǎn)。
橢偏儀的選購指南：
1、根據研究或測試的材料特性來(lái)確定光譜范圍，進(jìn)一步選擇適合光源的橢偏儀。對于透明材料，考慮關(guān)心的折射率光譜區域;對于短波吸收、長(cháng)波透明材料，如果關(guān)心吸收區域折射率及膜厚可擴展到紅外透明區域來(lái)先確定薄膜厚度，然后求解折射率。
2、入射角方式選擇。橢偏儀多角度測量可以增加可靠性，但不是總有必要。多角度Z適用于以下幾種場(chǎng)合：多層膜結構、吸收膜、各項異性膜、光學(xué)常數沿厚度梯度分布的膜等。
3、考慮測量準確性與重度性。橢偏儀重復性定義為儀器多次測量的結果的比較，比較容易定義與比較。一般的測準確性時(shí)將空氣作為標準樣品(沒(méi)有其他理想的標準樣品)。
4、比較分析軟件。橢偏儀測量是一種非直接測量模式，數據需要擬合分析得來(lái)，所以分析軟件的好壞將直接影響到分析結果。
