翹曲度，用于表述平面在空間中的彎曲程度，在數值上被定義為翹曲平面在高度方向上距離最遠的兩點(diǎn)間的距離。絕對平面的翹曲度為0。翹曲變形是評定產(chǎn)品質(zhì)量的重要指標之一。對于相同翹曲影響模式的同一產(chǎn)品時(shí)，這些指標可以描述不同設計的翹曲變形的大小程度。但對于不同材料、模具結構等造成翹曲變形的影響模式改變的因素，不同設計下各部分的翹曲變形嚴重程度也隨之改變。
美國FSM高溫薄膜應力及翹曲度測量?jì)x具有哪些特殊功能？
1、多重導向銷(xiāo)設計，手動(dòng)裝載樣品，有優(yōu)異的重復性與再現性研究。
2、優(yōu)異的分辨率——測量0.2um弓形高度變化超過(guò) 20M 的平鏡(大約 0.8%)
3、全3D測繪的手動(dòng)旋轉平臺。
4、測量局部應力---測量42點(diǎn)/mm 并大于8400點(diǎn)/200mm晶圓。這種測量密度獲得更好的信號噪聲比。
5、良好封閉的設計，溫度更穩定。
6、特殊的設計使震動(dòng)偏移降到較低。
7、圖形式使用界面更容易使用。
8、當改變彈性模數，晶圓或薄膜厚度設備會(huì )自動(dòng)重新計算應力保存數據文檔。
9、可以計算雙軸彈性模量和線(xiàn)膨脹系數。
10、可以計算應力的均勻性。
11、可以輸出數據到Excel，提供給SPC分析。
