近年來(lái)，隨著(zhù)儀器行業(yè)的不斷發(fā)展，多波段橢偏儀在市場(chǎng)上得到了快速地發(fā)展。由于其突出的表現，受到了廣泛用戶(hù)的青睞。目前本產(chǎn)品可以廣泛地應用于半導體、通訊、數據存儲、光學(xué)鍍膜等領(lǐng)域中，下面我們就來(lái)具體的了解一下這款儀器！
它的光譜范圍：
最初，多波段橢偏儀的工作波長(cháng)多為單一波長(cháng)或少數獨立的波長(cháng)，較典型的是采用激光或對電弧等強光譜光進(jìn)行濾光產(chǎn)生的單色光源。大多數的橢偏儀在很寬的波長(cháng)范圍內以多波段工作。它和單波段的橢偏儀相比，多波段橢偏儀可以提升多層探測能力，可以測試物質(zhì)對不同波長(cháng)光波的折射率等。 多波段橢偏儀的光譜范圍在深紫外的142nm到紅外33um可選。光譜范圍的選擇取決于被測材料的屬性、薄膜厚度及關(guān)心的光譜段等因素。例如，摻雜濃度對材料紅外光學(xué)屬性有很大的影響，因此需要能測量紅外波段的多波段橢偏儀；薄膜的厚度測量需要光能穿透這薄膜，到達基底，然后并被探測器檢測到，因此需要選用該待測材料透明或部分透明的光譜段；對于厚的薄膜選取長(cháng)波長(cháng)更有利于測量。
它的應用領(lǐng)域：
目前，多波段橢偏儀可應用于半導體、微電子、MEMS、通訊、數據存儲、光學(xué)鍍膜、平板顯示器、科學(xué)研究、物理、化學(xué)、生物、醫藥…等眾多領(lǐng)域中；同時(shí)，本儀器還可以檢測介電材料、有機高分子聚合物、金屬氧化物、金屬鈍化膜、自組裝單分子層、多層膜物質(zhì)和石墨烯等眾多材料。
多波段橢偏儀有如下特點(diǎn)：
1.對材料的光學(xué)常數的測量更精確：這是由激光的窄帶單色性質(zhì)決定的，激光帶寬通常遠小于1nm，因此能夠更準確地獲得激光波長(cháng)下的材料的材料參數。
2.可對動(dòng)態(tài)過(guò)程進(jìn)行快速測量：激光良好的方向性使得其強度非常高，因此非常適合對動(dòng)態(tài)過(guò)程的實(shí)時(shí)測量。
