光學(xué)輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理，對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器，通過(guò)測量干涉條紋的變化來(lái)測量表面三維形貌，專(zhuān)用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

 

　　產(chǎn)品特點(diǎn)：

　　光學(xué)輪廓儀對各種產(chǎn)品，部件和材料的表面輪廓，粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

 

　　應用：

　　傳統的機械零件由于受加工設備的限制，對精度包括平面度，粗糙度的要求常規下停留在微米量級。但隨著(zhù)技術(shù)發(fā)展，人們對機械零件的加工精度要求開(kāi)始向納米量級邁進(jìn)，設備加工精度的提高帶動(dòng)檢測技術(shù)的發(fā)展，傳統的檢測手段包括接觸式和2D方式的檢測方法對檢測納米量級精度的機械零件有很大的局限性。

　　光學(xué)輪廓儀最初應用在光學(xué)加工行業(yè)時(shí)，其3D、高速、精密、可靠和穩定，開(kāi)始引起加工人士的注意并開(kāi)始應用。光學(xué)輪廓儀已在汽車(chē)發(fā)動(dòng)機噴油嘴、半導體切割刀具、人工關(guān)節制造、量塊標定等方面有大量的應用。一些特定功能如平面度、粗糙度、直線(xiàn)度和高度差等在機械加工檢測中呈現出新的應用。

　　光學(xué)輪廓儀讓光學(xué)輪廓測量?jì)r(jià)格更為實(shí)惠，使用了目前先進(jìn)的垂直掃描干涉 (VSI) 結合高精確度相移干涉 (PSI) 測量，以前所未見(jiàn)的價(jià)格使得表面形貌研究進(jìn)入次納米等級。