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  • GEMINI FB XTEVG晶圓鍵合自動(dòng)生產(chǎn)系統

    GEMINI (FB XT) EVG晶圓鍵合自動(dòng)生產(chǎn)系統是用于晶圓級封蓋,晶圓級封裝,工程襯底制造,晶圓級3D集成和晶圓減薄的實(shí)用技術(shù)。反過(guò)來(lái),這些過(guò)程使MEMS器件,RF濾波器和BSI(背面照明)CIS(CMOS圖像傳感器)實(shí)現了驚人的增長(cháng)。這些過(guò)程使制造工程襯底(如絕緣體上的硅)成為可能。 主流的鍵合工藝:粘合劑,陽(yáng)極,直接/熔融,玻璃粉,焊料(包括共晶和瞬態(tài)液相)和金屬擴散/熱壓。

    更新時(shí)間:2024-11-09
    型號:GEMINI FB XT
    廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:9333
  • EVG850 DB自動(dòng)解鍵合系統

    EVG850 DB-自動(dòng)解鍵合系統(晶圓鍵合機) 經(jīng)過(guò)處理的臨時(shí)鍵合晶圓疊層被分離和清洗,而易碎的設備晶圓始終在整個(gè)工具中得到支撐。支持的剝離方法包括UV激光,熱剝離和機械剝離。

    更新時(shí)間:2024-11-09
    型號:EVG850 DB
    廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:3744
  • EVG540-晶圓鍵合自動(dòng)化系統

    EVG540-晶圓鍵合自動(dòng)化系統 應用:全自動(dòng)晶圓鍵合系統(晶圓鍵合機),適用于大300 mm的基板

    更新時(shí)間:2024-11-09
    型號:
    廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:5490
  • EVG805-薄晶圓解鍵合系統

    EVG805-半自動(dòng)系統(晶圓鍵合機) 用于剝離臨時(shí)鍵合和加工過(guò)的晶圓疊層,該疊層由器件晶圓,載體晶圓和中間臨時(shí)鍵合膠組成。該工具支持熱剝離或機械剝離。

    更新時(shí)間:2024-11-09
    型號:
    廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:4162
  • EVG805解鍵合晶圓鍵合機

    EVG805-解鍵合晶圓鍵合機 用于剝離臨時(shí)鍵合和加工過(guò)的晶圓疊層,該疊層由器件晶圓,載體晶圓和中間臨時(shí)鍵合膠組成。該工具支持熱剝離或機械剝離。

    更新時(shí)間:2024-11-09
    型號:EVG805
    廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
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  • EVG810 LT 低溫等離子活化系統

    EVG810 LT 低溫等離子活化系統 應用:用于SOI,MEMS,化合物半導體和高級襯底鍵合的低溫等離子體活化系統

    更新時(shí)間:2024-11-09
    型號:
    廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
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