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當前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  3D形貌儀/白光干涉輪廓儀  >  晶圓形貌和參數檢測  >  PLS-F1002晶圓幾何形貌及參數紅外干涉自動(dòng)檢測機

晶圓幾何形貌及參數紅外干涉自動(dòng)檢測機

簡(jiǎn)要描述:晶圓幾何形貌及參數紅外干涉自動(dòng)檢測機使用高精度高速紅外干涉點(diǎn)傳感器實(shí)現晶圓的非接觸式測量,結合高精度運動(dòng)模組及晶圓機械手可實(shí)現晶圓形貌的亞微米級精度的測量,該系統適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓,包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;可以實(shí)現的尺寸與結構測量?jì)热莅ǎ?包括 TTV, Bow, Warp, Thickness , TIR, Sag, LTV(Fullmap 測試)。

  • 產(chǎn)品型號:PLS-F1002
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時(shí)間:2024-11-09
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量: 2820

詳細介紹

一、設備簡(jiǎn)介

1、應用范圍

自動(dòng)晶圓幾何形貌及參數檢測系統使用高精度高速紅外干涉點(diǎn)傳感器實(shí)現晶圓的非接觸式測量,結合高精度運動(dòng)模組及晶圓機械手可實(shí)現晶圓形貌的亞微米級精度的測量,該系統適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓,包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;可以實(shí)現的尺寸與結構測量?jì)热莅ǎ?包括 TTV, Bow, Warp, Thickness , TIR, Sag, LTV(Fullmap 測試)。

2、檢測原理

設備系統使用紅外干涉光源,本身具有通過(guò)對物體上表面與下表面反射光直接的相位差進(jìn)行傅里葉變化求得位移差的能力。在此基礎上,我司設計了參考鏡等效光路,通過(guò)計算參考鏡上表面與物體上表面反射光之間的距離來(lái)計算物體表面的高度信息,實(shí)現表面高度數據相關(guān)的粗糙度、翹曲度參數的獲取。


紅外干涉原理圖

紅外干涉原理圖

紅外干涉測量方式與位置圖


二、設備規格

1、整體基本結構

測控系統的硬件由高精度 X-Y 運動(dòng)平臺、晶圓機械手、數據獲取與檢測模組、檢測控制系統以及自動(dòng)上下料系統組成。

2、設備外觀(guān)圖

3、基本技術(shù)規格說(shuō)明:

設備基本技術(shù)規格

部       件

規       格

高分辨率紅外干涉光檢測系統

l  紅外干涉點(diǎn)傳感器

l  橫向分辨率 3.7um

l  分辨率 1nm

l  蕞大采樣頻率 70kHz

X-Y 自動(dòng)運動(dòng)平臺

l  定制水平載物臺,蕞大 350mm*350mm

l  平臺平整度 < 1.5μm/100mm

l  平臺蕞大移動(dòng)速度 > 100mm/s

l  支持 4-8 寸的載具平臺,可替換的 12 寸載具平臺

自動(dòng)上下料與分選系統

l  高速晶圓機器人上下料系統

l  2 進(jìn) 2 cassettes 結構


 



計算機系統

l  定制檢測軟件系統,包含數據庫管理系統,支持

PDF 報告和 Excel 報告導出

l  帶通訊端口對接MES 系統或其他數據系統

其他

l  使用手冊

l  含安裝調試和使用培訓服務(wù)








4、設備性能指標

以下為設備的主要性能參數與指標:

設備產(chǎn)能指標


十字

米字

4 寸

280WPH

240WPH

6 寸

240WPH

200WPH

8 寸

180WPH

120WPH

12 寸

120WPH

80WPH







5、檢測關(guān)鍵指標參數如下:

設備關(guān)鍵參數指標

項目

關(guān)鍵指標參數

晶圓厚度測試范圍

50um~1000um (Si) (具備鍵結片各層厚度能力)

厚度 TTV 檢測精度

±0.2um

厚度 TTV 檢測重復性

σ ≤ 0.1um

Bow/Warp 檢測精度

±0.5um

Bow/Warp 檢測重復性

σ ≤ 0.5um

準確性

l  對標 FRT)Bow/Warp 線(xiàn)性 ≥ 90%

l  對標 FRT):Thickness/TTV/TIR 線(xiàn)性 ≥ 95%










三、軟件系統功能

測控系統安裝在Windows 系統的工業(yè)計算機上,并配置我司磚用控制軟件。測控系統軟件主要由系統控制模塊(包含定位、校準及自動(dòng)上下料及分選)、晶圓關(guān)鍵尺寸測量模塊和數據處理與輸出模塊三部分組成。分為開(kāi)發(fā)者模式與操作工簡(jiǎn)易操作模式兩種。易于現場(chǎng)操作和數據結果獲取??梢愿鶕枨笤O定報警與分選特定方式。

系統功能設計

功能模塊

功能設計

系統控制模塊

l     平臺定位控制系統;

l     自動(dòng)上下料操作控制





l     平臺控制與檢測路徑規劃控制系統

晶圓關(guān)鍵尺寸檢測模塊

l     控制紅外干涉傳感器數據校準系統

l     控制傳感器切換 recipe 及其設定系統

l     晶圓數據獲取與預處理系統

數據處理模塊與輸出

l     根據不同檢測目標設定的數據處理算法與可視化窗口

l     定制檢測軟件系統,包含數據庫管理系統,支持 PDF 報告Excel 報告導出(可選配打印系統)

l     帶通訊端口對接 MES 系統





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