极品尤物一区二区三区小说,国产又粗又猛又爽又黄的A片小说,一个人看的免费视频www,寡妇大J8又粗又大

當前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  EVG納米壓印機  >  UV-NIL/SmartNIL紫外壓印  >  EVG7300多功能紫外納米壓印光刻系統

多功能紫外納米壓印光刻系統

簡(jiǎn)要描述:多功能EVG7300 UV納米壓印光刻系統可以支持多種相關(guān)的UV工藝:SmartNIL,晶圓級光學(xué)(WLO)和堆疊-三種功能合并在一個(gè)靈活的工具中

  • 產(chǎn)品型號:EVG7300
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時(shí)間:2024-11-09
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量: 3727

詳細介紹

它是一個(gè)基于模塊化和改進(jìn)的SmartNIL模塊的獨立系統,可以根據處理和自動(dòng)化水平進(jìn)行配置。EVG7300支持從150毫米到300毫米的晶圓尺寸,具有低至300納米的高精度對準,先進(jìn)的過(guò)程控制和高吞吐量,可以滿(mǎn)足各種自由形狀和高精度納米和微光學(xué)元件和器件的先進(jìn)研發(fā)和大批量制造(HVM)需求。為了在HVM環(huán)境中集成預處理和后處理流的必要性,該模塊可以集成到HERCULES NIL系統中


這種多功能系統旨在服務(wù)于廣泛的新興應用,包括微和納米壓印以及功能層的紫外線(xiàn)堆疊。因此,該設備可以增強晶圓級光學(xué)(WLO),納米光子學(xué),超表面和生物醫學(xué)芯片的工藝性能。這與行業(yè)對新型光學(xué)傳感器和光電子器件的需求密切相關(guān),例如自動(dòng)駕駛,汽車(chē)和裝飾照明中的微透鏡陣列和投影儀,生物識別認證的衍射光學(xué)器件以及復雜元透鏡的新興趨勢。利用這項技術(shù)的第一個(gè)應用已經(jīng)存在于先進(jìn)的生物醫學(xué)設備和增強現實(shí)波導領(lǐng)域,其中納米印跡技術(shù)可以實(shí)現復雜設計的高質(zhì)量制造。


特點(diǎn)

· 靈活性:UV- nil系統在一個(gè)工具中實(shí)現三個(gè)UV過(guò)程:SmartNIL, WLO和堆疊

     · 精確控制多步工藝,包括對準,接觸和紫外線(xiàn)固化

     · 用于SmartNIL和WLO的低力自動(dòng)沖壓分離

· 可擴展性:加工高達300mm基板的晶圓

· 模塊化:獨立模塊,以及集成到HERCULES NIL

     · 基材搬運:從手動(dòng)裝載到全自動(dòng)操作

     · 可選的自動(dòng)郵票加載SmartNIL允許連續模式操作

· 高級對齊功能

     · 實(shí)時(shí)校準<±300nm(取決于工藝)

· UV LED燈最高功率500mW/cm2

     · > 90%均勻度

     · 可選:雙波長(cháng)工作:365nm和405nm

     · 不同的曝光模式

· 可選特性

     · 光楔誤差補償(WEC)

     · 溫度控制

· 行業(yè)先進(jìn)的工藝性能

     · 分辨率低至單納米范圍

     · 非常精確的殘余層控制


技術(shù)數據

晶圓直徑(襯底尺寸):最大300毫米

分辨率:≤10納米(視工藝及材料而定,主料由客戶(hù)提供)


支持的進(jìn)程:Lens Stacking、Lens Molding、SmartNIL®

產(chǎn)品咨詢(xún)

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話(huà):

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說(shuō)明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫(xiě)阿拉伯數字),如:三加四=7
康定县| 镇坪县| 汕尾市| 岐山县| 石狮市| 杭州市| 容城县| 留坝县| 丘北县| 余干县| 昌黎县| 松溪县| 咸阳市| 邢台县| 永泰县| 潞城市| 界首市| 潼南县| 嘉义县| 新宁县| 孟村| 察隅县| 肥乡县| 西和县| 灵山县| 龙门县| 平乐县| 文水县| 富宁县| 郓城县| 鹿邑县| 江西省| 赤城县| 营山县| 弋阳县| 古浪县| 壤塘县| 东辽县| 汉川市| 诸城市| 汶川县|