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  • UltraINSP 晶圓表面缺陷檢測系統

    UltraINSP晶圓表面缺陷檢測系統是表面缺陷檢測的蕞完善的國產(chǎn)化替代產(chǎn)品,系統包括四個(gè)模塊可以檢測所有晶圓表面并同步采集數據:晶圓正面、背面、邊緣缺陷檢測模塊;輪廓、量測和檢查模塊;

    更新時(shí)間:2024-12-18
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