等離子去膠和等離子清洗機是專(zhuān)門(mén)設計用來(lái)滿(mǎn)足晶圓批處理或單晶片處理，具有廣泛應用，從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設備采用PC控制，可以配套不同的等離子源，加熱或不加熱基片夾具，可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式，也就是說(shuō)可以支持各向同性和各向異性的各種應用。
等離子去膠機基本工藝流程：
1、將圓片從片盒內取出，放置到工藝腔內，執行所選定的工藝文件完成去膠，將圓片放到冷卻臺上(如有需要)，最后將圓片送回片盒。為了獲得更高的產(chǎn)量，可以使用熱絕緣的Teflon片盒，從而省略冷卻臺的步驟。
2、機械手可以在3個(gè)軸向上運動(dòng)。機械手的末端器帶有真空，用于在移動(dòng)過(guò)程中吸住圓片。
3、圓片進(jìn)入工藝腔體后，3根藍寶石桿會(huì )從圓片邊緣將圓片托住。
4、工藝腔的腔壁內裝有12個(gè)用于腔體加熱加熱器。圓片放入腔體后，由腔體底部的8個(gè)鹵素燈泡將圓片加熱到工藝溫度。
5、O2和少量的N2混合后送入微波導管內的石英等離子體管。由磁控管生成的微波能量激發(fā)混合氣體生成等離子體，將O2和N2分子解離成O原子和N原子?；钚粤Ｗ禹樍鞫?，通過(guò)配氣室被帶出源頭區域。能夠對圓片造成損傷的高能活性粒子，在通過(guò)3層分氣盤(pán)的過(guò)程中發(fā)生氣相復合而被消除。能夠氧化光刻膠的低能量自由基和中性粒子，則被送到圓片表面，完成去膠。
6、去膠工藝的終點(diǎn)，可以通過(guò)檢測工藝過(guò)程中等離子體輝光的變化速率來(lái)確定。在去膠工藝結束時(shí)，鹵素燈泡關(guān)閉，微波源關(guān)閉(繼而輝光消失)，工藝氣體關(guān)閉。
7、隨后腔體內通入氮氣進(jìn)行吹掃，然后通氣到達大氣壓以便將圓片取出。圓片從腔體內取出后會(huì )被送到冷卻臺。冷卻臺是一個(gè)通水冷卻的平臺。圓片冷卻后將送回片盒內原來(lái)的槽位。
等離子去膠機軟件具有以下特點(diǎn)：
1、使用菜單界面可以很簡(jiǎn)便地進(jìn)行工藝循環(huán)的設定和執行。
2、故障處理功能使工程師和服務(wù)人員能夠單獨觸發(fā)各個(gè)子系統。
3、控制軟件可以在所有帶有并口的奔騰系列的電腦上運行。電腦與設備之間只通過(guò)一根接口電纜進(jìn)行對接。
4、可在控制軟件內對所有子系統進(jìn)行自動(dòng)校準。這有利于更快捷、更簡(jiǎn)單地進(jìn)行校準，進(jìn)而提升工藝結果。
5、工藝文件創(chuàng )建。該功能來(lái)自工藝文件編輯器，可以創(chuàng )建、編輯工藝文件，以實(shí)現對工藝腔體內的晶圓進(jìn)行全自動(dòng)工藝流程控制。
6、工藝文件確認，可以顯示出控制流程中的錯誤。
7、可以存儲多個(gè)工藝文件、工藝數據和校準文件，方便以后對工藝和校準結果進(jìn)行對比和維護。
8、可以通過(guò)設置密碼保護系統、工藝文件編輯、診斷、校準和功能設置的安全性。
