橢圓偏振儀是一種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數以及材料微結構的光學(xué)測量設備。由于并不與樣品接觸，對樣品沒(méi)有破壞且不需要真空。可測的材料包括：半導體、電介質(zhì)、聚合物、有機物、金屬、多層膜物質(zhì)?？梢詰糜诎雽w、通訊、數據存儲、光學(xué)鍍膜、平板顯示器、科研、生物、醫藥等領(lǐng)域。

 

　　橢圓偏振儀的結構：

　　本產(chǎn)品常用的光學(xué)元件有下列幾種：

　　1、光源：橢圓偏振儀的理想光源是強度穩定，從紫外到近紅外整個(gè)波長(cháng)范圍內輸出近似為常數，目前大多選用Xe或Hg-Xe燈是比較合理的，但是它在UV強度較弱，而在880~1010nm具有很強的原子輻射譜線(xiàn)。也有采用激光作為光源，進(jìn)行單色橢偏測量。

　　2、偏振器件：偏振器是橢圓偏振儀重要的光學(xué)元件，理想的偏振器只能傳遞在一個(gè)方向偏振的光，而不能傳遞任何沿著(zhù)它垂直方向偏振的光。偏振器能將任何偏振態(tài)的光變成線(xiàn)偏振光并定向于傳輸軸。格蘭泰勒偏振器射出光的偏振度達到百萬(wàn)分之一，波長(cháng)范圍為230~2200nm。

　　3、補償器：亦是延滯器，它可以精確地作90°的延滯。補償器可以由反折射薄片或拋光的斜方形晶體構成。該元件的精確延滯與光學(xué)調整和所用光的波長(cháng)有關(guān)。有的橢偏測量系統利用能將線(xiàn)偏振光變成園偏振光的補償器。特殊情況下，補償器能簡(jiǎn)單地在兩垂直的線(xiàn)偏振器之間引入位相延滯。旋轉補償器與旋轉偏振器相結合能將非偏振光變成橢圓偏振光。

　　4、光束調制器：通常有幾種，一種是機械調制器，可以實(shí)現光束強度簡(jiǎn)諧地調制為了隨后的同步探測；另一種是電光或磁光調制器，用于光束強度或偏振態(tài)的簡(jiǎn)諧擾動(dòng)為了隨后的同步探測，這種調制器一般難以標定和維護，對溫度敏感并且相當昂貴?，F在還有一種光彈型調制器用于本產(chǎn)品中。

　　5、探測器：通常用于探測器有三種，即光電倍增管、硅光電池和InGaAs，前者對偏振態(tài)敏感，后兩種則不敏感，并且在很寬范圍內對光束強度具有線(xiàn)性響應。此外，也有采用硅光二極管列陣作為探測器的。