第 3 代 Film Sense 多波長(cháng)橢偏儀系統現已上市！這一代的主要改進(jìn)是電動(dòng)源偏振器，它支持自動(dòng)校準和區域平均測量。新系統具有與獲得zhuan利的* FS-1 橢偏儀技術(shù)相同的優(yōu)點(diǎn)（長(cháng)壽命 LED 光源、快速可靠的無(wú)移動(dòng)部件探測器、緊湊型設計和網(wǎng)絡(luò )瀏覽器軟件界面），同時(shí)保持易用性和經(jīng)濟性。Film Sense 多波長(cháng)橢圓儀是原位實(shí)時(shí)監測和控制薄膜沉積和蝕刻過(guò)程的理想選擇。通過(guò)原位橢圓偏振儀測量實(shí)時(shí)觀(guān)察和表征過(guò)程的能力對于診斷工藝室中的問(wèn)題和提高工藝開(kāi)發(fā)的效率非常有益。

FS-1 波長(cháng)

FS-1 緊湊型封裝橢偏儀
4 個(gè)波長(cháng)，450 – 660 nm 光譜范圍（替代原來(lái)的 FS-1）
測量 0 – 2 μm 厚度范圍內的單層透明薄膜的良好選擇，精度低至 0.0004 nm
美國zhuan利#9,354,118

FS-1EX™（第 3 代）橢偏儀
   6 個(gè)波長(cháng)，405 – 950 nm 光譜范圍
   2 個(gè)較長(cháng)的波長(cháng)（850 和 950 nm）能夠測量較厚的透明薄膜（高達 5 μm）和吸收半導體薄膜（如多晶硅、SiGe、非晶硅等）
   薄膜電阻率測量（使用 Drude 模型）也通過(guò) 2 個(gè)更長(cháng)的波長(cháng)得到改進(jìn)。

   6 個(gè)波長(cháng)和更寬的光譜范圍為多層薄膜堆疊提供增強的測量能力

標準異地配置

   65° 入射角。
   手動(dòng)樣品加載和高度調整。
   樣品尺寸可達 200 毫米直徑。和 20 毫米的厚度。
   +/-2° 范圍內的樣品傾斜。
   樣品上的光束尺寸：4 x 9 mm。
   占地面積小 (180 x 400 mm)，重量輕 (5 kg)。

在線(xiàn)機型特征

功能：

-亞單層厚度精度

-在多種工藝條件下確定薄膜光學(xué)常數 n&k 和沉積速率，無(wú)需破壞真空

-監測和控制多層膜結構的沉積

-用于外部軟件控制的FS-API接口（兼容LabVIEW™）

-適用于大多數薄膜沉積和蝕刻技術(shù)：濺射、ALD、ALE、MBE、CVD、PLD等。

FS-1安裝在A(yíng)JA濺射室上

特點(diǎn)：

-系統無(wú)需外部電子盒或光纖連接

-LED光源和無(wú)移動(dòng)部件檢測器，運行可靠，測量速度快

-緊湊輕便的源和檢測器單元（每個(gè) <1 kg）

-可選適配器，用于安裝到標準 2.75“ 或 1.33" 平壓法蘭上，具有易于調節的粗傾和精傾臺

-強大的軟件功能，用于可視化和分析動(dòng)態(tài)橢圓測量數據

FS-1安裝在Kurt Lesker ALD腔室上

第 3 代通用規格

緊湊型光學(xué)元件：光源 142 x 80 x 60 毫米，探測器 110 x 80 x 60 毫米

簡(jiǎn)單連接：+5V 墻上插頭電源、以太網(wǎng)和源檢測器鏈接電纜
電動(dòng)源偏振器：
    – 提供自動(dòng)儀器校準
    – 實(shí)現區域平均測量，以提高測量精度

強度提高 4 倍（與原始 FS-1 相比）和更新的檢測器電子設備提供更高的測量精度：非原位 2 倍，原位 4 倍

照片和數據由美國研究實(shí)驗室提供

自動(dòng)化測繪系統

這些產(chǎn)品將FS-1EX多波長(cháng)橢偏儀與緊湊型自動(dòng)測繪平臺相結合，可在晶圓片上提供快速、準確、可靠的薄膜厚度均勻性測量。

特點(diǎn)與規格

-6個(gè)波長(cháng)的橢偏數據（405，450，525，660，850，950nm）具有長(cháng)壽命 LED光源，無(wú)運動(dòng)部件的探測器

-0-5um范國內大多數透明薄膜的精確厚度測量

-典型厚度重復性:0.002nm

-集成聚焦探頭，標準光斑尺寸:0.8x1.9毫米(可提供其他光斑尺寸)

-USB攝像頭選項可用

-用于樣品自動(dòng)對準的電動(dòng)Z臺

-靈活的掃描棋式編輯器

-輪廓和三維測量參數圖

FS-XY150

-繪制晶片圖的典型時(shí)間:2分鐘(在直徑 150毫米的晶片上取 49個(gè)點(diǎn))

-緊湊的占地面積:600x600mm，16kg

-載物臺行程(X，Y):150X150mm，分辨率:5um

                                                                                    FS-XY150

FS-RT300

-繪制品片圖的典型時(shí)間:2.5分鐘(在 300mm直徑的晶片上取 49個(gè)點(diǎn))

-緊湊的占地面積:400x500mm，22kg

-載物臺行程:R(線(xiàn)性)150mm，分辨率:12um   Theta(旋轉)360°，分辨率:0.1°

                            FS-RT300