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簡(jiǎn)要描述:iFocus是一款用于晶圓外觀(guān)缺陷檢測設備,利用STI的2D/3D視覺(jué)檢測系統,采用雙2D Camera同時(shí)采集亮區和暗區照片分析特征缺陷;True 3D技術(shù),可以精確量測Bumping高度,Bumping共面性等特征??蛇m用于EWLB/CMOS/MEMS/LED/LENS/GLASS WAFER/GAS WAFER/COG等產(chǎn)品外觀(guān)檢測。
產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category詳細介紹
iFocus是一款用于晶圓外觀(guān)缺陷檢測設備,利用STI的2D/3D視覺(jué)檢測系統,采用雙2D Camera同時(shí)采集亮區和暗區照片分析特征缺陷,雙2D有動(dòng)態(tài) 雙影像處理的能力,有更高的處理量,實(shí)現拓展檢測能力的單次掃描(與多通道掃描相比,速度提升40%以上);True 3D技術(shù),可以精確量測Bumping高度,Bumping共面性等特征??蛇m用于EWLB/CMOS/MEMS/LED/LENS/GLASS WAFER/GAS WAFER/COG等產(chǎn)品外觀(guān)檢測。iFocus能夠利用邊緣檢測計算技術(shù)進(jìn)行Chipping缺陷檢測,邊緣檢測計算不同于有效區域檢測的參數模式來(lái)進(jìn)行匹配,通過(guò)邊緣檢測測量,軟體系統能夠準去的定位邊緣并有效利用公差檢測,邊緣檢測計算還可以減少優(yōu)于沿切割道的測試模式造成的過(guò)殺。
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