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微流控缺陷檢測

簡(jiǎn)要描述：微流控缺陷檢測 Nanotronics nSpec Macro可以照亮樣品的整個(gè)面，或設置照明角度和/或離散照明矢量。 明場(chǎng)，暗場(chǎng)，正交和可配置的傾斜照明角度與可單獨配置的LED，配合使用可調節照明的強度，顏色和位置。

  • 產(chǎn)品型號：Nanotronics nSpec Macro
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)：代理商
  • 產(chǎn)品資料：
  • 更新時(shí)間：2024-11-09
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量： 8430

詳細介紹

微流控缺陷檢測產(chǎn)品簡(jiǎn)介

1、nSpec Macro是一種快速自動(dòng)晶圓宏觀(guān)檢測儀，無(wú)論您有多特殊的晶圓檢查要求，我們都能提供一系列解決方案來(lái)讓您獲得快速的結果。這種緊湊的系統設計用于對200 mm以下的晶圓進(jìn)行高通量宏觀(guān)檢查。 以毫米為單位，nSpec Macro可以自動(dòng)檢測并量化從50到100微米的眾多缺陷，這取決于視場(chǎng)或晶圓尺寸。
2、nSpec Macro可以照亮樣品的整個(gè)面，或設置照明角度和/或離散照明矢量。 明場(chǎng)，暗場(chǎng)，正交和可配置的傾斜照明角度與可單獨配置的LED，配合使用可調節照明的強度，顏色和位置。
3、該系統會(huì )自動(dòng)導出CSV文件，并且與SECS / GEM兼容，也可以根據客戶(hù)要求進(jìn)行定制。

自動(dòng)化晶圓處理功能

所有Nanotronicsn Spec Macros都裝有滿(mǎn)足行業(yè)標準要求的晶圓裝載機。Nanotronics創(chuàng )造了末端執行器，可將整個(gè)單個(gè)晶圓和/或帶有的晶圓加載進(jìn)去。每個(gè)末端執行器都是根據客戶(hù)的需求設計的。
光學(xué)特性
暗場(chǎng)照明模式照明角度：0度
傾斜照明模式照明角度：0至80度
明場(chǎng)照明模式照明角度：90度
正交照明模式照明角度：90度（通過(guò)鏡頭）
晶圓裝載機
一次運行1個(gè)卡夾：標準H型卡夾
標準晶圓尺寸：50、75、100、150或200mm
控制軟件
配方易于配置，并可以根據需要保存?？梢园错樞蜻M(jìn)行多次掃描，并且在照射角度，強度和波長(cháng)方面具有*的靈活性。
系統參數
重量：62kg
尺寸（寬x深x高）：67厘米 x 74厘米 x 65厘米
蕞小真空要求：20 in.Hg
電源：110v / 220v，3.5安培


 

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