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Photomask Blanks缺陷檢查裝置

簡(jiǎn)要描述:LODAS™ – AI50/100是列真株式會(huì )社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。

  • 產(chǎn)品型號:LODAS™ – AI50/100
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時(shí)間:2024-11-09
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量: 1777

詳細介紹

列真株式會(huì )社自創(chuàng )業(yè)以來(lái),秉承“挑戰"、“創(chuàng )造"、“誠實(shí)"的經(jīng)營(yíng)理念,為顧客提供可靠、可信的產(chǎn)品和服務(wù)。運用激光掃描技術(shù),專(zhuān)門(mén)制造、銷(xiāo)售半導體材料表面及內部檢查、石英玻璃表面檢查等檢查裝置。


特征:

  • 半導體用Photomask Blanks的出廠(chǎng)檢查、工藝評價(jià)

  • 用微分干涉顯微鏡分析缺陷

  • 檢查對象:Photomask Substrate、Cr、Resist、MoSi

  • 檢查項目:顆粒、內部缺陷(Option)

  • 檢查靈敏度:PDM缺陷尺寸0.1μm(AI00)

列真公司檢查裝置的維護、修理

  • 定期支持裝置安裝完成后的性能維持。

  • 24小時(shí)電話(huà)對應,全年無(wú)休的安心支持。

  • 認真對待客戶(hù)新的要求。

  • 召開(kāi)技術(shù)研討會(huì )和充實(shí)各種手冊,讓顧客能夠自行維護和更換零件。

  • 提供HDD、激光光源等消耗品的免費診斷服務(wù)。




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